校正的基本步驟:
現(xiàn)假設(shè)對(duì)一臺(tái)常見(jiàn)的Royco HH200作校正
1、先,要清楚Royco 323和HH200A有何差別,其測(cè)試原理一樣,但Royco 323流速為1CFM(立方英尺/分鐘),而Royco HH200則為0.1CFM。
2、將潔凈臺(tái)開(kāi)機(jī),工作半小時(shí),其間內(nèi)也打開(kāi)Royco 323和Royco HH200,讓其預(yù)熱半小時(shí)。
3、準(zhǔn)備好255的取樣器管,并搭接好其所有氣體管路。
4、將配好的標(biāo)準(zhǔn)液(如0.301um)放入脫原子瓶中,注意勿讓液體超過(guò)噴嘴。
5、設(shè)置Royco323和Royco HH200的基本參數(shù)
(1)取樣時(shí)間都設(shè)置為00:01:00
(2)取樣次數(shù)都設(shè)置03
(3)取樣模式都設(shè)置為Auto
(4)間隔時(shí)間都設(shè)置為00:00:05
(5)讀數(shù)模式都設(shè)置為Cumulative
注:以上設(shè)置相同,因其流速有10倍差,故Royco323測(cè)試結(jié)果會(huì)是Royco HH200的10倍。
6、打開(kāi)255電源,調(diào)節(jié)脫原子氣體閥和干燥氣體閥,在調(diào)至噴嘴閥處呈氣霧出現(xiàn),干燥氣體流速計(jì)約60SCFH時(shí)后,保持其工作狀態(tài)。
7、讓Royco 323和Royco HH200同時(shí)工作,看其三次的平均結(jié)果,若在20%以?xún)?nèi),視為合格。
8、拆下脫原子瓶,重新滴入其它標(biāo)準(zhǔn)粒子,重復(fù)該測(cè)試。
9、以上校正只是對(duì)比校正,尚用萬(wàn)用表對(duì)其基本參數(shù)測(cè)量,用示波器對(duì)其信號(hào)捕捉等來(lái)輔助調(diào)校。
傳真:
郵箱:13916617155@139.com
地址:上海市浦東滬南路2218號(hào)東樓1812房間